北京新松IC真空机械手及洁净自动化设备项目作为国内首个专注于IC真空机械手及洁净自动化设备的规模化生产基地,建成后将聚焦半导体核心零部件研发与生产助力国产半导体装备实现,推动技术升级与全流程协同满足集成电路设备国产化需求填补国内高端半导体装备制造空白。